用途：
Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特点：
绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
产品样本和技术手册
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0574-86119919
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Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant
特点：
绿色制造、全新系列干式真空泵
体积小、耗功低、大幅度降低成本
用于中度严苛制程的节能泵
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浙公网安备33020602001261